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2-100nm XUV/EUV 寬帶軟X射線高分辨率光譜儀

產品簡介

2-100nm XUV/EUV 寬帶軟X射線高分辨率光譜儀
產品總覽
具有高分辨率和效率的多功能光譜儀
隨著在半導體制造中使用 13.5 nm輻射的 EUV 光刻技術的發展,極紫外輻射(EUV、XUV)已成為一個重要的工業意義。這導致對高分辨率和靈敏的診斷和測量技術的需求。

產品型號:indigo-spectroscopy
更新時間:2025-02-12
廠商性質:經銷商
訪問量:1062
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品牌筱曉光子價格區間面議
組成要素半導體激光器產品及設備產地類別進口
應用領域電子/電池,電氣,綜合

2-100nm XUV/EUV 寬帶軟X射線高分辨率光譜儀

產品總覽

具有高分辨率和效率的多功能光譜儀

隨著在半導體制造中使用 13.5 nm輻射的 EUV 光刻技術的發展,極紫外輻射(EUV、XUV)已成為一個重要的工業意義。這導致對高分辨率和靈敏的診斷和測量技術的需求。因此,我們構建了一個模塊化的 XUV / EUV 和軟 X 射線光譜儀,可用于等離子體光譜學、源診斷和計量學。它te別適用于激光等離子體源(LPS)和高次諧波源(高次諧波產生high harmonic generation,HHG)。

該光譜儀設計靈活,適用于多種應用。對于廣泛的幾何形狀,可以獲得非常高的光譜分辨率。通常,分辨率僅受檢測器系統像素大小的限制(XUV CCD 為 13.5 µm)。光譜儀的所有部件都是 UHV 級的。




2-100nm XUV/EUV 寬帶軟X射線高分辨率光譜儀

2-100nm XUV/EUV 寬帶軟X射線高分辨率光譜儀



公司簡介


筱曉(上海)光子技術有限公司成立于2014年是一家被上海市評為高新技術企業和擁有“上海市專精特新企業稱號"的專業光學服務公司,業務涵蓋設備代理以及項目合作研發,公司位于大虹橋商務板塊,擁有接近2000m2的辦公區域,建有500平優良的AOL(Advanced Optical Labs)光學實驗室,為國內外客戶提供專業技術支持服務。公司主要經營光學元件、激光光學測試設備、以及光學系統集成業務。十年來依托專業、強大的技術支持,以及良好的商務支持團隊,筱曉的業務范圍逐年增長。目前業務覆蓋國內外各*高校、*科研機構及相關領域等諸多企事業單位。筱曉擁有一支核心的管理團隊以及專業的研發實驗室,奠定了我們在設備的拓展應用及自主研發領域堅實的基礎。

公司自成立以來,始終遵循行業、誠信發展、探索創新、務實致遠、以質取勝的服務理念,并在產品開發和銷售中貫徹到底。公司自始至終秉承著國際標準的質量安全保障。多年來,公司一直致力于光學設備的設計開發,以及知識產權的保護。我們將不斷完善管理機制和技術水平,為客戶提供更安全環保的產品以及更優質的服務。



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